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Q 四氟甲烷用途是什么？

Question time：8/19/2021 9:09:49 AM

Describe：四氟甲烷是做什么用的?哪里可以用到四氟甲烷?

A
admin 2021-08-19 09:09
四氟甲烷用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。;用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂

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