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Q 二氯硅烷用途是什么？

Question time：8/16/2021 8:53:23 AM

Describe：二氯硅烷是做什么用的?哪里可以用到二氯硅烷?

A
admin 2021-08-16 08:53
二氯硅烷用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。;用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅

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