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Q 四氟化钛用途是什么？

Question time：7/23/2021 1:04:00 PM

Describe：四氟化钛是做什么用的?哪里可以用到四氟化钛?

A
admin 2021-07-23 13:04
四氟化钛用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。

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